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热门关键词: 电子测量  生物微流控  等离子表面处理设备   薄膜分析设备  单细胞操纵分析    生物微流控

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  • CD1000 Nanofics低压等离子表面处理设备

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产品描述
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简介
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简介


 

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规格参数


 

反应舱

材料:铝
有效尺寸:1000 x 700 x700mm
容积:490L
舱门:装有可视窗口
托盘:5个    尺寸:858 x 672mm

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

干式真空泵泵组

频射发生器

根据客户应用需求定制

控制系统

PLC可实现下列功能:

  • 自动控制反应过程;
  • 根据处理材料设定不同的处理工艺参数新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;
  • 测定真空泵压力、抽真空时间新皇冠体育-皇冠体育app、充气速度新皇冠体育-皇冠体育app、工作压力新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app、处理时间、温度新皇冠体育-皇冠体育app、频射发生器输入电压等指标新皇冠体育-皇冠体育app;
  • 监测所有的运行指标新皇冠体育-皇冠体育app,保证各项参数在设定范围之内新皇冠体育-皇冠体育app;
  • 设定操作进入密码。

电源

380V AC, 三相新皇冠体育-皇冠体育app,50Hz, 40A

反应气体

一个气体输入端口新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,含气体流量控制器(MFC)

气体输入

直径1/4英寸(6.45mm) 管道;输入压力:1Bar

尾气排放

直径28mm 输出端口

性能

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应用系统


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