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  • SR100 薄膜分析仪

  • SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现薄膜厚度新皇冠体育-皇冠体育app、反射率、透射率新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app、色度等的测量新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,同样对于材料NK参数也可以实现测量新皇冠体育-皇冠体育app,为人们针对薄膜进行分析提供了便利新皇冠体育-皇冠体育app。
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产品描述
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简介
规格参数
功能图解
应用系统
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简介


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  产品详情:

基本功能

1,测试单新皇冠体育-皇冠体育app、多层透光薄膜的厚度新皇冠体育-皇冠体育app、折射率以及吸收系数
2新皇冠体育-皇冠体育app,实现薄膜均匀性检测
3,实现反射、投射以及颜色测量

产品特点

  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库新皇冠体育-皇冠体育app;
  简便新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app、易行的可视化测试界面新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,可根据用户需求设置不同的参数;
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  支持多功能配件集成以及定制新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;
  支持不同水平的用户控制模式新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;
  支持多功能模拟计算等等新皇冠体育-皇冠体育app。

系统配置

  型号:SR100R
  探测器: 2048像素的CCD线阵列
  光源:高稳定性新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app、长寿命的卤素灯
  光传送方式:光纤
  台架平台:特殊处理铝合金新皇冠体育-皇冠体育app,能够很容易的调节样品重量新皇冠体育-皇冠体育app,200mmx200mm的大小
  软件: TFProbe 2.2版本的软件
  通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
  测量类型:薄膜厚度,反射光谱新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,折射率
  电脑硬件要求:P3以上新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app、zui低50 MB的空间
  电源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
  保修:一年的整机及零备件保修

 

规格尺寸


  波长范围:250nm到1100 nm
  光斑尺寸:500μm至5mm
  样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm
  基板尺寸:zui多可至50毫米厚
  测量厚度范围*:2nm~50μm
  测量时间:zui快2毫秒
  精度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
  重复性误差*:小于1 ?

可选配件项

  用于传递和吸收测量的传动夹具(SR100RT) )
   zui低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP100)
  在多个位置下新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,多个通道用于同时测量 (SR100xX)
  在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘(SRM100-200/300)

 

应用系统


  主要应用于透光薄膜分析类领域:

  1 玻璃镀膜领域(LowE新皇冠体育-皇冠体育app、太阳能…)

  2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

  3 液晶显示(ITO新皇冠体育-皇冠体育app,PR,Cell gap...)

  4 医学新皇冠体育-皇冠体育app,生物薄膜及材料领域等

  5 油墨新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,矿物学新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,颜料新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,调色剂等

  6 医药,中间设备

  7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

  8 半导体化合物

  9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

  10 非晶体新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,纳米材料和结晶硅

  图片:

  

  简介:

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  支持多功能配件集成以及定制;
  支持不同水平的用户控制模式;
  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

  型号:SR100R
  探测器: 2048像素的CCD线阵列
  光源:高稳定性新皇冠体育-皇冠体育app、长寿命的卤素灯
  光传送方式:光纤
  台架平台:特殊处理铝合金,能够很容易的调节样品重量新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app,200mmx200mm的大小
  软件: TFProbe 2.2版本的软件
  通讯接口:USB的通讯接口与计算机相连
  测量类型:薄膜厚度,反射光谱,折射率
  电脑硬件要求:P3以上、zui低50 MB的空间
  电源:110–240V AC/50-60Hz新皇冠体育-皇冠体育app,1.5A
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  应用系统:

  主要应用于透光薄膜分析类领域:

  1 玻璃镀膜领域(LowE新皇冠体育-皇冠体育app、太阳能…)

  2 半导体制造(PR新皇冠体育-皇冠体育app,Oxide, Nitride…)

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  10 非晶体,纳米材料和结晶硅

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