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  • PDMS微流控芯片制作系统 EasyPDMS

  • PDMS芯片制作一般包含以下所列举工艺:① 清洗新皇冠体育-皇冠体育app;② 匀胶;③ 曝光光刻新皇冠体育-皇冠体育app;④ 显影新皇冠体育-皇冠体育app;⑤ 烤胶新皇冠体育-皇冠体育app;⑥ PDMS成型新皇冠体育-皇冠体育app;⑦ 等离子表面活化处理新皇冠体育-皇冠体育app;⑧ 键合新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;⑨ 打孔新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app。EasyPDMS微流控芯片制作系统可以提供完成以上各工艺流程的整套系统或单个设备。
  • 1 520
产品描述
图片
简介
规格参数
功能图解
应用系统
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PDMS微流控芯片制作系统 EasyPDMS


图片

 

简介

PDMS芯片制作一般包含以下所列举工艺:① 清洗新皇冠体育-皇冠体育app;② 匀胶;③ 曝光光刻;④ 显影;⑤ 烤胶新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;⑥ PDMS成型;⑦ 等离子表面活化处理新皇冠体育-皇冠体育app;⑧ 键合新皇冠体育-皇冠体育app;⑨ 打孔。EasyPDMS微流控芯片制作系统可以提供完成以上各工艺流程的整套系统或单个设备新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app。

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工艺及设备对应表格:

工艺名称

设备仪器名称

型号

清洗

等离子清洗机

CUTE

超声清洗机

市售标准型号

匀胶

匀胶显影机

SC100

PDMS成型机

ZentriForm

曝光光刻(2选1)

曝光机

UV-KUB 2

UV-KUB 3

显影(2选1)

匀胶显影机

SC100

简易显影池

客户自备

烤胶

精密热板

HP100

PDMS成型(2选1)

PDMS成型机

ZentriForm

培养皿/热板

客户自备培养皿/HP100

表面活化处理

等离子清洗机

CUTE

键合

精密热板

HP100

打孔

打孔器

PDMS Port Creator

打孔针

市售标准型号

 


格参数


项目

参数

适用芯片

PDMS芯片制作

最小结构分辨率

2um

处理基板尺寸

4”(φ10cm)

 

功能图解


设备简介

 

 清洗工艺:超声清洗机(左)和CUTE 等离子清洗机(右)

 

 

② 匀胶工艺(2选1)SC100匀胶显影(左)和ZentriForm PDMS成型机(右新皇冠体育-皇冠体育app,具备匀胶功能)

 

 

曝光光刻(2选1):UV-KUB 2单层光刻机(左)和UV-KUB 3对位光刻机(右)

 

④ 显影SC100匀胶显影机

 

⑤ 烤胶:HP100 精密热板

 

 

⑥PDMS成型:ZentriForm PDMS成型机

 

 

⑦等离子表面活化处理:CUTE 等离子清洗机

 

 

⑧键合:HP100 精密热板

 

 

⑨打孔:打孔器

 

应用系统


PDMS芯片制作

 

PDMS芯片制作一般包含以下所列举工艺:① 清洗新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;② 匀胶;③ 曝光光刻新皇冠体育-皇冠体育app;④ 显影新皇冠体育-皇冠体育app;⑤ 烤胶新皇冠体育-皇冠体育app;⑥ PDMS成型新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app新皇冠体育-皇冠体育app;⑦ 等离子表面活化处理;⑧ 键合新皇冠体育-皇冠体育app;⑨ 打孔。EasyPDMS微流控芯片制作系统可以提供完成以上各工艺流程的整套系统或单个设备新皇冠体育-皇冠体育app。

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工艺名称

设备仪器名称

型号

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匀胶

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SC100

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ZentriForm

曝光光刻(2选1)

曝光机

UV-KUB 2

UV-KUB 3

显影(2选1)

匀胶显影机

SC100

简易显影池

客户自备

烤胶

精密热板

HP100

PDMS成型(2选1)

PDMS成型机

ZentriForm

培养皿/热板

客户自备培养皿/HP100

表面活化处理

等离子清洗机

CUTE

键合

精密热板

HP100

打孔

打孔器

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打孔针

市售标准型号


格参数

项目

参数

适用芯片

PDMS芯片制作

最小结构分辨率

2um

处理基板尺寸

4”(φ10cm)

 

设备简介

 

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② 匀胶工艺(2选1)SC100匀胶显影(左)和ZentriForm PDMS成型机(右新皇冠体育-皇冠体育app,具备匀胶功能)

 

 

曝光光刻(2选1):UV-KUB 2单层光刻机(左)和UV-KUB 3对位光刻机(右)

 

④ 显影SC100匀胶显影机

 

⑤ 烤胶:HP100 精密热板

 

 

⑥PDMS成型:ZentriForm PDMS成型机

 

 

⑦等离子表面活化处理:CUTE 等离子清洗机

 

 

⑧键合:HP100 精密热板

 

 

⑨打孔:打孔器

 

PDMS芯片制作

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